졸-겔법을 이용한 TiO2 박막의 광촉매 특성

초록

TiO2 박막을 저온 열처리 졸-겔 법으로 합성하였다. 박막의 기판은 면적이 100mm2인 붕규산염 유리를 사용하여 시료를 300˚C부터 11000C까지 열처리하였고, 이때 제조된 박막의 두께는 약 1.5µm정도였다. 300˚C에서 2시간 동안 열처리한 TiO2 박막은 아나타제 상을 나타내었고 열처리 온도가 증가함에 따라 비정질 상태에서 아나타제 상과 루타일 상이 공존하면서 각 상의 분율이 변화하였다. SEM 분석에 의하면 박막의 입자 크기는 0.1∼0.54μm이었으며 Uv-visible 반사특성에 있어서 390nm부근에서 광흡수가 되는 것을 알 수 있었다. 따라서 낮은 열처리 온도에서 생성된 TiO2 박막은 주로 아나타제 상을 가지며 광촉매 특성을 2.4배 증가시키는 것으로 나타났다.

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