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A Study on the field emission characferistics of a a-C:H thin films prepared by HRPECVD

  • 이성만
제목
A Study on the field emission characferistics of a a-C:H thin films prepared by HRPECVD
저자
이성만
발행일
1997-02-27
학회명
한국진공학회논문지
개최국가
대한민국
학회 개최일
1997-02-27 ~ 1997-02-27

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