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Growth of epitaxial CoSi₂ using Co/Ti/Si system

  • 이성만
제목
Growth of epitaxial CoSi₂ using Co/Ti/Si system
저자
이성만
발행일
1996-02-12
학회명
제3회 한국반도체 학술회의
개최국가
대한민국
학회 개최일
1996-02-12 ~ 1996-02-12

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