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The effects of amine-content in cleaning solutions on the residue removal of Cu interconnection
- 이원규;
- 고천광
- 제목
- The effects of amine-content in cleaning solutions on the residue removal of Cu interconnection
- 저자
- 이원규; 고천광
- 발행일
- 2008-04-23
- 학회명
- 한국화학공학회 2008년도 봄 학술대회
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2008-04-23 ~ 2008-04-23