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펄스 SiH4 플라즈마 공정에서 입자 성장에 대한 수치해석

  • 김교선; 
  • 박정훈; 
  • 강진이; 
  • 김동주
제목
펄스 SiH4 플라즈마 공정에서 입자 성장에 대한 수치해석
저자
김교선; 박정훈; 강진이; 김동주
발행일
2006-11-10
학회명
한국공업화학회 추계학술발표회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2006-11-10 ~ 2006-11-10

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