반도체소자의다층금속배선공정방법(METHOD FOR MANUFACTURING MULTILAYER METALLIC WIRING OF SEMICONDUCTOR DEVICE)

제목
반도체소자의다층금속배선공정방법(METHOD FOR MANUFACTURING MULTILAYER METALLIC WIRING OF SEMICONDUCTOR DEVICE)
저자
이원규
발행일
1992-04-01
출원번호
89-7207
등록번호
제50385호
출원일
1989-05-30
등록일
1992-04-01