A study on the influence of chlorine concentration on electrical stability of IGZO thin-film transistors

  • 김시준; 
  • 송민섭; 
  • 이승빈; 
  • 민현홍; 
  • 장광현; 
  • 외 1명
제목
A study on the influence of chlorine concentration on electrical stability of IGZO thin-film transistors
저자
김시준; 송민섭; 이승빈; 민현홍; 장광현; 나재원
발행일
2025-06-19
학회명
2025 한국전기전자재료학회 하계학술대회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2025-06-19 ~ 2025-06-19