‘Plasma Effect on Low Temperature Growth of Single-Walled Carbon Nanotubes in Plasma-Coupled Thermal Chemical Vapor Deposition

제목
‘Plasma Effect on Low Temperature Growth of Single-Walled Carbon Nanotubes in Plasma-Coupled Thermal Chemical Vapor Deposition
저자
정구환; 조성일
발행일
2018-08-08
학회명
제55회 한국진공학회 하계정기학술대회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2018-08-08 ~ 2018-08-10