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Discrete-Sectional 모델에 의한 플라즈마 반응기에서의 미립자 성장 예측

  • 김교선
제목
Discrete-Sectional 모델에 의한 플라즈마 반응기에서의 미립자 성장 예측
저자
김교선
발행일
2002-06-27
학회명
제23회 한국진공학회 학술발표회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2002-06-27 ~ 2002-06-27

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