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펨토초 레이저를 이용한 박막 재료 및 기판 변화에 따른 가공 특성에 관한 연구

제목
펨토초 레이저를 이용한 박막 재료 및 기판 변화에 따른 가공 특성에 관한 연구
저자
김병희; 신홍규
발행일
2006-05-17
학회명
2006년도 한국정밀공학회 춘계학술대회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2006-05-17 ~ 2006-05-17

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