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RTMOCVD에 의한 ZrO2 박막의 제조 및 특성 분석
이원규
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제목
RTMOCVD에 의한 ZrO2 박막의 제조 및 특성 분석
저자
이원규
발행일
2004-04-23
학회명
2004년도 한국화학공학회 봄 학술대회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2004-04-23 ~ 2004-04-23
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