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A study on ferroelectric properties of furnace-annealed Hf0.5Zr0.5O2 films
- 김시준;
- 조민관;
- 강종묵;
- 공태호;
- 유정규;
- 외 5명
- 제목
- A study on ferroelectric properties of furnace-annealed Hf0.5Zr0.5O2 films
- 저자
- 김시준; 조민관; 강종묵; 공태호; 유정규; 박혜련; 박성빈; Yong Chan Jung; Jin-Hyun Kim; Jiyoung Kim
- 발행일
- 2022-11-06
- 학회명
- The International Conference on Electronic Materials and Nanotechnology for Green Environment (ENGE)
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2022-11-06 ~ 2022-11-09