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Study on the microcrystalline oxide incorporated diffusion barrier for Cu metallization

  • 이성만
제목
Study on the microcrystalline oxide incorporated diffusion barrier for Cu metallization
저자
이성만
발행일
1997-05-09
개최국가
대한민국
학회 개최일
1997-05-09 ~ 1997-05-09

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