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Cryogenic switching behavior of ferroelectric TiN/HZO/TiN capacitors
- 김시준;
- 김예찬;
- 이승빈;
- 민현홍;
- 장광현
- 제목
- Cryogenic switching behavior of ferroelectric TiN/HZO/TiN capacitors
- 저자
- 김시준; 김예찬; 이승빈; 민현홍; 장광현
- 발행일
- 2026-01-27
- 학회명
- 한국반도체학술대회 (The Korean Conference on Semiconductors (KCS))
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2026-01-27 ~ 2026-01-30