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대기압 마이크로웨이브 플라즈마를 이용한 ZnO 나노재료의 합성과 in-situ 질도 도핑

제목
대기압 마이크로웨이브 플라즈마를 이용한 ZnO 나노재료의 합성과 in-situ 질도 도핑
저자
정구환; 이병주; 조성일; 허성규; 이우영
발행일
2020-02-09
학회명
제58회 한국진공학회 동계정기학술대회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2020-02-09 ~ 2020-02-12

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