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Thermal budget analysis of ferroelectric ALD-(Hf,Zr)O2 thin films using the JMAK model
- 김시준;
- 김재훈;
- 강종묵;
- 이승빈;
- 민현홍;
- 외 3명
- 제목
- Thermal budget analysis of ferroelectric ALD-(Hf,Zr)O2 thin films using the JMAK model
- 저자
- 김시준; 김재훈; 강종묵; 이승빈; 민현홍; Jin-Hyun Kim; Minjong Lee; Jiyoung Kim
- 발행일
- 2025-04-09
- 학회명
- Materials Research Society (MRS) 2025 spring
- 개최국가
- 미국
- 학회 개최일
- 2025-04-09 ~ 2025-04-09