국부적 전기장 집중효과기반 알루미늄 양극산화공정을 이용한 나노구조물 일체형 마이크로구조물 제작방법

제목
국부적 전기장 집중효과기반 알루미늄 양극산화공정을 이용한 나노구조물 일체형 마이크로구조물 제작방법
저자
김병희서영호박용민
발행일
2015-04-02
학회명
제17회 한국 MEMS 학술대회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2015-04-02 ~ 2015-04-04