상세 보기
Investigation of hollow cathode plasma enhanced atomic layer deposition of silicon nitride (SiNx) thin films
- 제목
- Investigation of hollow cathode plasma enhanced atomic layer deposition of silicon nitride (SiNx) thin films
- 저자
- 김시준
- 발행일
- 2019-03-10
- 학회명
- The Minerals, Metals & Materials Society (TMS) 2019
- 개최국가
- 미국
- 학회 개최일
- 2019-03-10 ~ 2019-03-14