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수평형 ICP 플라즈마 시스템의 광진단 결과를 기반으로한 그래핀의 무결함 질소도핑 연구

제목
수평형 ICP 플라즈마 시스템의 광진단 결과를 기반으로한 그래핀의 무결함 질소도핑 연구
저자
정구환
발행일
2021-08-19
학회명
2021년도 한국진공학회 하계학술대회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2021-08-19 ~ 2021-08-21

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