투과전자현미경법을 활용한 pure Sn으로 충진된 20 ㎛ TSV의 계면 특성 연구

제목
투과전자현미경법을 활용한 pure Sn으로 충진된 20 ㎛ TSV의 계면 특성 연구
저자
임성환
발행일
2014-11-13
학회명
제45차 추계현미경학회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2014-11-13 ~ 2014-11-14