Rapid thermal annealing의 온도에 따른 InGaAs/InAlAs MQWs 광발광 특성

  • 류미이; 
  • 김종수; 
  • 차종원; 
  • 강태인; 
  • 하재두; 
  • 외 1명
제목
Rapid thermal annealing의 온도에 따른 InGaAs/InAlAs MQWs 광발광 특성
저자
류미이; 김종수; 차종원; 강태인; 하재두; 송진동
발행일
2023-02-08
학회명
제64회 한국진공학회 동계정기학술대회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2023-02-08 ~ 2023-02-10