Ion implantation technique for doping of GaN and AlxGa1-xN with silicon

제목
Ion implantation technique for doping of GaN and AlxGa1-xN with silicon
저자
류미이
발행일
2009-08-08
학회명
Photonics and Optoelectronics Meetings
개최국가
중국
학회 개최일
2009-08-08 ~ 2009-08-10