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기상합성법에 의해 합성된 β-SiC 초미분말에 대한 H2가스유량과 TMS 농도에 따른 영향

  • 소명기
제목
기상합성법에 의해 합성된 β-SiC 초미분말에 대한 H2가스유량과 TMS 농도에 따른 영향
저자
소명기
발행일
1999-04-24
학회명
요업학회
개최국가
대한민국
학회 개최일
1999-04-24 ~ 1999-04-24

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