Implantation damage studies of Si-implanted AlxGa1-xN

제목
Implantation damage studies of Si-implanted AlxGa1-xN
저자
류미이
발행일
2006-10-23
학회명
International Workshop on Nitride Semiconductors 2006
개최국가
일본
학회 개최일
2006-10-23 ~ 2006-10-23