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Analysis of atmospheric pressure plasma for decomposition of CHF3 with Ar as a dilution gas
- 이원규;
- 우엔덕바
- 제목
- Analysis of atmospheric pressure plasma for decomposition of CHF3 with Ar as a dilution gas
- 저자
- 이원규; 우엔덕바
- 발행일
- 2017-04-26
- 학회명
- 한국화학공학회 2017년도 봄 총회 및 학술대회
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2017-04-26 ~ 2017-04-28