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Effects of N2 Addition on Aluminum Alloy Etching: Optical Emission Spectroscopy Studies
- 제목
- Effects of N2 Addition on Aluminum Alloy Etching: Optical Emission Spectroscopy Studies
- 저자
- 이원규
- 발행일
- 1999-10
- 학회명
- 6th International Conference of VLSI and CAD
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 1999-10 ~ 1999-10