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Comprehensive study on the effect of compositional variation in single HfXZr1-XO2 thin films
- 김시준;
- 민현홍;
- 장광현;
- 김재훈;
- 이호민;
- 외 3명
- 제목
- Comprehensive study on the effect of compositional variation in single HfXZr1-XO2 thin films
- 저자
- 김시준; 민현홍; 장광현; 김재훈; 이호민; 송민섭; 강종묵; 이승빈
- 발행일
- 2024-11-01
- 학회명
- 2024 한국전기전자재료학회 추계학술대회
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2024-11-01 ~ 2024-11-01