A Study on the Ti/Si reaction using Ion Beam Assisted Deposition

  • 이성만
제목
A Study on the Ti/Si reaction using Ion Beam Assisted Deposition
저자
이성만
발행일
1999-05-14
학회명
1999년도 연구논문발표회
개최국가
대한민국
학회 개최일
1999-05-14 ~ 1999-05-14