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적층형구조로부터 상호확산에 의해 제조된 ZrxTi(1-x)O2 박막의 확산 특성분석

제목
적층형구조로부터 상호확산에 의해 제조된 ZrxTi(1-x)O2 박막의 확산 특성분석
저자
이원규; 함성식; 이진욱
발행일
2005-10-21
학회명
한국화학공학회 2005년 가을 학술대회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2005-10-21 ~ 2005-10-21

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