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저온 산화공정을 이용한 실리콘 산화박막 성장 및 물성분석

제목
저온 산화공정을 이용한 실리콘 산화박막 성장 및 물성분석
저자
이원규
발행일
2006-04-20
학회명
한국화학공학회 2006년도 봄 학술대회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2006-04-20 ~ 2006-04-20

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