광촉매 활성을 이용한 반도체 소자의 산화막 형성 방법

제목
광촉매 활성을 이용한 반도체 소자의 산화막 형성 방법
저자
이원규
발행일
2006-10-31
출원번호
10-2005-0093289
등록번호
10-0643091-0000
출원일
2005-10-05
등록일
2006-10-31