상세 보기
- 제목
- Numerical analysis on particle growth in pulsed SiH4 plasma process by discrete-sectional method
- 저자
- 김교선; 김동주
- 발행일
- 2007-09-12
- 학회명
- 4th Conference of the Asian Consortium on Computational Materials Science
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2007-09-12 ~ 2007-09-12