회전식 플라즈마 반응기에 의한 유전체 장벽 방전-광촉매 복합공정용 이산화티탄/산화규소 이중 박막 복합체 및 이의 제조방법

  • 김교선
제목
회전식 플라즈마 반응기에 의한 유전체 장벽 방전-광촉매 복합공정용 이산화티탄/산화규소 이중 박막 복합체 및 이의 제조방법
저자
김교선
발행일
2014-07-22
출원번호
10-2012-0121384
등록번호
10-1424100
출원일
2012-10-30
등록일
2014-07-22