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TEOS/O2용 플라즈마 반응기에서의 미립자 성장의 실험적 분석

  • 김교선
제목
TEOS/O2용 플라즈마 반응기에서의 미립자 성장의 실험적 분석
저자
김교선
발행일
2003-04-25
학회명
Theories and Application of chemical engineering, proceeding of KICHE Spring meeting
개최국가
대한민국
학회 개최일
2003-04-25 ~ 2003-04-25

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