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Experimental evidence of hydrogen-related oxide trap generation in ultrathin SiO2 film during negative-bias temperature instability stress
- 권영중;
- 이원규
- 제목
- Experimental evidence of hydrogen-related oxide trap generation in ultrathin SiO2 film during negative-bias temperature instability stress
- 저자
- 권영중; 이원규
- 발행일
- 2004-02-19
- 학회명
- 제11회 한국반도체학술대회
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2004-02-19 ~ 2004-02-19