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CMOSFET의 제조공정시 발생하는 박막 게이트 산화막의 열화 특성 분석

제목
CMOSFET의 제조공정시 발생하는 박막 게이트 산화막의 열화 특성 분석
저자
이원규
발행일
2001-07-04
학회명
2001 Asia-Pacific Workshop on Fundamental and Application of Advanced Semiconductor Devices
개최국가
대한민국
학회 개최일
2001-07-04 ~ 2001-07-04

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