Uniform coating of TiO2 thin films on particles by rotating PCVD process

  • 김교선
  • 김동주
  • 팜흥크엉
제목
Uniform coating of TiO2 thin films on particles by rotating PCVD process
저자
김교선김동주팜흥크엉
발행일
2009-06-15
학회명
3rd International Symposium on Functional Materials (ISFM 2009)
개최국가
대한민국
학회 개최일
2009-06-15 ~ 2009-06-18