플라즈마를 이용한 ZnO 나노와이어의 질소 도핑과 광 센싱 특성 연구

제목
플라즈마를 이용한 ZnO 나노와이어의 질소 도핑과 광 센싱 특성 연구
저자
정구환
발행일
2021-02-04
학회명
2021년도 한국진공학회 동계학술대회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2021-02-04 ~ 2021-02-06