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- 제목
- Modeling of Particle Growth in Pulsed Plasma Chemical Vapor Deposition Process for Preparation of High-Quality Thin Films
- 저자
- 김교선; 김동주; 우엔테쭝
- 발행일
- 2009-09-24
- 학회명
- 31st International Symposium on Dry Process,
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2009-09-24 ~ 2009-09-25