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점착력 제어가 가능한 공압 벌룬 엑추에이터 기반 전사공정용 PDMS 스탬프

제목
점착력 제어가 가능한 공압 벌룬 엑추에이터 기반 전사공정용 PDMS 스탬프
저자
김병희; 서영호; 박찬진
발행일
2010-05-26
학회명
한국정밀공학회 2010년도 춘계 학술대회 논문집
개최국가
대한민국
학회 개최일
2010-05-26 ~ 2010-05-28

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