화학기상응축법을 이용한 Si-C-N precursor 분말의 합성 및 특성평가

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Synthesis and Characterization of？ Si-C-N Precursor？ by Using Chemical Vapor Condensation Method

제목 (타언어): Synthesis and Characterization of？ Si-C-N Precursor？ by Using Chemical Vapor Condensation Method