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Abnormal oxidation of cobalt silicide on arsenic implanted N+ active areas

제목
Abnormal oxidation of cobalt silicide on arsenic implanted N+ active areas
저자
이원규
발행일
2003-04-25
학회명
2003년도 한국화학공학회 봄 학술대회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2003-04-25 ~ 2003-04-25

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