Al 조성이 높은 AlxGa1-xN(x=0.4-0.5)의 이온 주입법에 의한 도핑 및 활성화 연구

제목
Al 조성이 높은 AlxGa1-xN(x=0.4-0.5)의 이온 주입법에 의한 도핑 및 활성화 연구
저자
류미이
발행일
2008-02-14
학회명
한국진공학회 제34회 동계 정기학술대회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2008-02-14 ~ 2008-02-14