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Investigation of tungsten electrode effect on ferroelectricity of ALD-Hf0.5Zr0.5O2 thin films
- 김시준;
- 박혜련;
- 조민관;
- 김효정;
- 유정규;
- 외 7명
- 제목
- Investigation of tungsten electrode effect on ferroelectricity of ALD-Hf0.5Zr0.5O2 thin films
- 저자
- 김시준; 박혜련; 조민관; 김효정; 유정규; Jaidah Mohan; Yong Chan Jung; Heber Hernandez-Arriaga; Harrison Sejoon Kim; Jiyoung Kim; 김남훈; 최리노
- 발행일
- 2022-01-24
- 학회명
- 한국반도체학술대회 (The Korean Conference on Semiconductors (KCS))
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2022-01-24 ~ 2022-01-26