Formation Mechanism of Epitaxial CoSi₂Using Co/Ti/Si system

  • 이성만
제목
Formation Mechanism of Epitaxial CoSi₂Using Co/Ti/Si system
저자
이성만
발행일
1995-10-17
학회명
The 3rd IUMRS International Conference
학회 개최일
1995-10-17 ~ 1995-10-17