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The effect of TiN top and bottom electrodes on the ferroelectric properties of Hf0.5Zr0.5O2 thin films
- 김시준;
- 유정규;
- 김영인;
- 안용환;
- 김효정;
- 외 3명
- 제목
- The effect of TiN top and bottom electrodes on the ferroelectric properties of Hf0.5Zr0.5O2 thin films
- 저자
- 김시준; 유정규; 김영인; 안용환; 김효정; Yong Chan Jung; Jaidah Mohan; Jiyoung Kim
- 발행일
- 2021-01-25
- 학회명
- 한국반도체학술대회 (The Korean Conference on Semiconductors (KCS))
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2021-01-25 ~ 2021-01-29