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A study on the ferroelectric properties of ALD-(Hf,Zr)O2 thin films annealed without capping layer depending on the oxygen source
- 김시준;
- 박혜련;
- 박성빈;
- 강종묵;
- Jin-Hyun Kim;
- 외 1명
- 제목
- A study on the ferroelectric properties of ALD-(Hf,Zr)O2 thin films annealed without capping layer depending on the oxygen source
- 저자
- 김시준; 박혜련; 박성빈; 강종묵; Jin-Hyun Kim; Jiyoung Kim
- 발행일
- 2023-06-21
- 학회명
- 2023 한국전기전자재료학회 하계학술대회
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2023-06-21 ~ 2023-06-23