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Ozone based high temperature atomic layer deposition of SiO2 thin films
- 제목
- Ozone based high temperature atomic layer deposition of SiO2 thin films
- 저자
- 김시준
- 발행일
- 2019-10-28
- 학회명
- International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC) 2019
- 개최국가
- 일본
- 학회 개최일
- 2019-10-28 ~ 2019-10-31