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나노홀을 가진 알루미늄 박막을 이용한 실리콘 및 유리기판 표면의 나노패터닝

제목
나노홀을 가진 알루미늄 박막을 이용한 실리콘 및 유리기판 표면의 나노패터닝
저자
김병희; 서영호; 김광호; 강명; 박용민
발행일
2011-04-07
학회명
제 13회 한국 MEMS 학술대회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2011-04-07 ~ 2011-04-09

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