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Vapor-phase Metal-assisted Chemical Etching of Silicon using Oxidizing Agent Gas
- 엄한돈;
- 조혜인
- 제목
- Vapor-phase Metal-assisted Chemical Etching of Silicon using Oxidizing Agent Gas
- 저자
- 엄한돈; 조혜인
- 발행일
- 2023-06-21
- 학회명
- 2023 한국전기전자재료학회 하계학술대회
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2023-06-21 ~ 2023-06-23